USPM-RU-W近红外显微分光测定仪！

近红外显微分光测定仪　USPM-RU-W：规格

反射率测定

透过率测定^*1

45度反射测定^*1

名称

近红外显微分光测定仪

近红外显微分光测定仪用
透过测定选配件

近红外显微分光测定仪用
45度反射测定选配件

型号

USPM-RU-W

测定波长

380～1050nm

测定方法

对参照样品的比较测定

对100%基准的透过率测定

对参照样品的比较测定

测定范围

参照下列对物镜的规格

约ø2.0mm

测定
再现性（3σ）^*2

反射率测定

使用10×、20×物镜时

±0.02[%]以下（430-1010nm）、
±0.2[%]以下（上述以外）

±1.25[%]以下（430-1010nm）、
±5.0[%]以下（左侧记载除外）

使用40×物镜时

±0.05[%]以下（430-950nm）、
±0.5[%]以下（上述以外）

厚膜测定

±1%　

-

波长显示分解能

1nm

照明附件

专用卤素灯光源　 JC12V 55W（平均寿命700h）

位移受台

承载面尺寸：200(W)×200(D)mm　　
承重：3 kg
工作范围：(XY) ±40mm, (Z)125mm

倾斜受台

－

承载面尺寸：　140(W)×140(D)mm
承重：　1 kg
工作范围：(XT) ±1°, (YT) ±1°

装置质量

主体：约26 kg（PC除外）

主体：约31 kg（PC除外）^*3

控制电源箱：约6.7kg

装置尺寸

主体部位：360(W)×446(D)×606(H)mm

主体部位：360(W)×631(D)×606(H)mm

控制电源箱：250(W)×270(D)×125(H)mm

电源规格

输入规格：100-240V (110VA) 50/60Hz

使用环境

水平无振动的场所
温度：15～30℃
湿度：15～60％RH（无结露）

对物镜

型号

USPM-OBL10

USPM-OBL20

USPM-OBL40

倍率

10x

20x

40x

NA

0.12

0.24

0.24

测定范围^*4

70μm

34μm

17μm

工作距离

14.3mm

4.2mm

2.2mm

样品的曲率半径

±5mm～

±1mm～

±1mm～

反射率测定光路图

反射率测定例：镜片

反射率测定例：镜片周边部位

膜厚测定的图例

活用反射率数据，测定约50nm~约10μm的单层膜、多层膜的膜厚。

物体色的测定图例

根据反射率数据显示XY色度图、L*a*b*色度图及相关数值。

透过率测定光路图

45度反射率测定光路图

域的高精度&高速测定

光学系图

使用平面光栅及线传感器进行全波长同时分光测定，从而实现高速测定。

反射率测定图例

新设计了可以在Ø17~70μm的测定区域中进行非接触测定的专用物镜。通常的分光光度计不能进行测定的细小电子部件或镜片等的曲面，也可以实现再现性很高的测定。

消除背面反射光的原理

将专用物镜与环形照明组合，不需要进行被检测物背面的防反射处理，就可测定最薄0.2mm的反射率*。*使用40×物镜时，在本公司的测定条件下进行测定。

峰谷法膜厚解析经过信息图例

这是一种根据测定的分光反射率值的峰值与低谷的周期性计算出膜厚的方法，对于测定单层膜是有效的。不需要复杂的设置，可以简单地求出。

傅里叶转换法膜厚解析经过信息图例

这是一种根据测定的分光反射率值的周期性计算膜厚的方法，对于单层膜及多层膜的测定有效。难以检测出峰值及低谷等时，可以几乎不受噪音的影响进行解析。

曲线调整法膜厚解析经过信息图例

这是一种通过推算测定的分光反射率值与根据某种膜构造计算的反射率的差达到最小的构造计算出膜厚的方法，对于单层膜及多层膜的测定有效。还可以进行不会出现峰值及低谷的薄膜解析。

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