适合各种应用的卓越纳米级研究工具

Nova NanoSEM50系列可帮助取得更大成就。 NanoSEM50系列还引入了最低速度新一代的高灵敏可伸缩SE/ BSE和干探测器和多功能的SE/ BSE过滤功能，使感兴趣的信息最低速度最佳化。智能扫描模式可用于尽可能避免成像假象。

 

主要优点

• 场发射 SEM、超稳定高电流 Schottky 电子枪

• 先进的光学和探测技术，包括沉浸模式、射束减速、透镜内 TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS 和 STEM，可实现最佳信息选择和图像优化

• 低至 50 V 的射束着陆能量

• 1.4 nm @ 1 kV、无射束减速

• 全球唯一真正高分辨率的低真空 FESEM： 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa

• 高达 200 nA 的高真空或低真空分析

• 整合式 16 位扫描/制图引擎

• 超洁净、无油滚动和涡轮抽气真空系统

• 150 x 150 mm 高精密、高稳定压电样品台 (Nova NanoSEM 650)

规格

Nova NanoSEM 50 系列
分辨率 高真空	15 kV (TLD) 1 kV (TLD、无 BD) 100 V (DBS) 15 kV, 5 nA	1.0 nm 1.4 nm 3.5 nm 3.0 nm
分辨率 低真空	3 kV 和 30 Pa (Helix)	1.8 nm
射束电流		高达 200 nA
着陆电压范围		50 V - 30 kV
样品台	X x Y x Z (mm)	110 x 110 x 25 150 x 150 x 10
机室		大试件室
探测	透镜内 透镜下、大角度探测器	TLD SE 和 BSE 高灵敏度 DBS (SE/BSE)