适用于各种样品的高真空、低真空和 ESEM 模式

FEI QUANTA™产品系列包括6个变量的压力和环境扫描电子显微镜（ESEM™）和两个DualBeam™系统，所有这些都可以容纳多个样品和工业过程控制实验室，材料科学实验室和生命科学实验室的成像要求。Quanta系列的扫描电子显微镜，是一款多功能，高性能仪器与任何SEM系统的样本，以适应范围最广的三种模式（高真空，低真空和ESEM）。如能谱仪，波长色散X射线光谱仪和电子背散射衍射分析系统，可配备所有的广泛电脑扫描电镜系统。

主要优点

• 最小化样品制备的数量，低真空和 ESEM 功能可实现绝缘及/或含水样品的无荷电成像和分析

• 通过 Quanta 的“经由透镜”专利压差真空技术，可在高真空和低真空条件下对导电和绝缘样品进行 EDS 和 EBSD 分析，提高分析能力。 稳定的高射束电流（高达 2 μA）可实现快速准确的分析

• 使用原位样品台在 - 165 °C - 1500 °C 环境温度条件下执行各种自然状态样品的动态原位分析

• 使用可选的射束减速模式完成表面成像，以获取导电样品的表面和成分信息

• 易用和直观性令初学者也能进行高效操作。

 

规格

	分辨率	加速 电压	探针电流 样品台	放大率	试件室尺寸
Quanta 50 系列	高真空 ·                          3.0 nm/30 kV (SE) ·                          4.0 nm/30 kV (BSE) ·                          10.0 nm/3 kV (SE) 低真空 ·                          3.0 nm/30 kV (SE) ·                          4.0 nm/30k V (BSE) ·                          10 nm/3 kV (SE)	200 V  - 30 kV	高达 2 μA， 可持续  调节	20 - 1000000  x （四象限视图）	左右宽 284mm-379mm
Quanta 50 系列/配 FEG	高真空 ·                          0.8 nm/30 kV (STEM)* ·                          1.0 nm/30 kV (SE) ·                          2.5 nm/30 kV (BSE) ·                          3.0 nm/1 kV (SE) 低真空 ·                          1.4 nm/30 kV (SE) ·                          2.5 nm/30 kV (BSE) ·                          3.0 nm/3 kV (SE)	200 V  - 30 kV	高达 2 μA， 可持续  调节	20 – 1000000 x （四象限视图）	284mm-379mm 内径（从左至右）