用于纳米尺度研究的重要扫描电子显微镜

Inspect 系列扫描电子显微镜 (SEM)采用先进的样品室真空技术 以及 FEI 的世界一流电子光学和样品生产量技术。 只要检验、表征、工艺控制和 失效分析至关重要，则 Inspect S50 和 Inspect F50 型显微镜的高分辨率成像必不可少。 直观的用户界面和 软件、直接通过工具栏即可访问的为记录和存储图像所需的所有功能 非常适合多用户 环境，同时全方位地操作可应用各种样品 杆的样品台给仪器带来了额外的使用价值和灵活性，满足对不同样品大小和应用的需求。

主要优点

• 易用且直观的软件可确保初学者也能进行高效操作

• 轻松表征导电和绝缘样品（S50 型）

• 确保使用稳定的高电流 FEG （最高 200 nA）进行快速、准确的 EDS 和 EBSD 分析（F50 型）

• 使样品制备数量降至最低： 低真空可实现绝缘样品的非荷电成像和分析（S50 型）

• 大幅减少更改加速电压 (kV) 时对镜筒的调整。 所有调整均会依据用户选择的加速电压及/或照射点设置自动执行（F50 型）

• 确保在高真空和低真空条件下进行准确的导电和绝缘样品 EDS 和 EBSD 分析， 使用“经由透镜”专利抽气技术创造高真空和低真空环境（S50 型）

• 利用可选射束减速模式获取导电样品的表面和成分信息（F50 型）

规格