适合材料表征、失效分析和更多应用的多功能 FIB/SEM

作为用于二维和三维材料表征和分析的功能性最广泛的 DualBeam 仪器，Quanta 3D 拥有三种 SEM 成像模式（高真空、低真空和环境 SEM），它可观察的样品是在任何 SEM 系统中最广泛的。 整合的聚焦离子束 (FIB) 功能增加了横截面操作能力，使应用范围得到进一步扩展。 ESEM 模式实现了在不同相对湿度（最高 100%）和温度（最高 1500° C）条件下进行各种材料动态行为的原位研究。

主要优点

Quanta 3D DualBeam 系列（将聚焦离子束与扫描电子显微镜结合）新增诸多功能和灵活性，可有效满足工程师和研究人员对材料表征、失效分析或工艺控制的需求。 它结合了传统的热场发射扫描电子显微镜 (SEM) 和聚焦离子束 (FIB)，可加强现有的实验室表征工具，扩大三维表征和纳米分析、TEM 样品制备或纳米尺度样品表面结构修改的应用范围。

•  Quanta 3D 新增诸多功能和灵活性，可有效满足工业或学术环境内工程师和研究人员对材料表征、失效分析或流程控制需求。

•  Quanta 3D FEG 适合二维和三维材料表征和分析，是功能性最强的高分辨率、低真空 SEM/FIB。

•  Quanta 3D FEG 600 可满足高标准三维纳米表征、纳米加工，纳米原型加工和原位研究应用所需的多功能和精确度。

•  Quanta 3D 200i 是一款卓越的表征仪器，旨在应用于工业或学术环境中的材料检查、失效分析和样品制备。

规格